Electronics

• 10 µm – 1971
• 6 µm – 1974
• 3 µm – 1977
• 1.5 µm – 1982
• 1 µm – 1985
• 800 nm – 1989
• 600 nm – 1994
• 350 nm – 1995
• 250 nm – 1997
• 180 nm – 1999
• 130 nm – 2001
• 90 nm – 2004
• 65 nm – 2006
• 45 nm – 2008
• 32 nm – 2010
• 22 nm – 2012
• 14 nm – 2014
• 10 nm – 2017
• 7 nm  – ~2018
• 5 nm – ~2020

Half-nodes